我們常用的光譜儀有ICP光譜儀、原子發射光譜儀、電感耦合等離子體光譜儀等，其中ICP光譜儀是我們經常接觸的。

　　ICP光譜儀是當前光譜分析中非常迅速非常靈敏的一種儀器。

　　ICP光譜儀三大主要部分：

　　一是激光光譜的光源;

　　二是光譜儀系統，使不同波長的光聚焦在儀器上的特定位置。

　　三是用置于焦點上的探測器來量光的強度。近代的光譜儀大都采用微型計算機處理實驗結果。

　　它是將成分復雜的光分解為光譜線的科學儀器。它密封在一個溫度穩定的恒溫機箱里，設計小巧，操作簡易，設備的搬運和操作只要一個人就能完成。

　　它具有樣品用量少，應用范圍廣且快速，靈敏和選擇性好等特點。

　　ICP光譜儀包括以下幾個主要部分：

　　1、入射狹縫: 在入射光的照射下形成光譜儀成像系統的物點。

　　2、準直元件: 使狹縫發出的光線變為平行光。該準直元件可以是一獨立的透鏡、反射鏡、或直接集成在色散元件上，如凹面光柵光譜儀中的凹面光柵。

　　3、色散元件: 通常采用光柵，使光信號在空間上按波長分散成為多條光束。

　　4、聚焦元件: 聚焦色散后的光束，使其在焦平面上形成一系列入射狹縫的像，其中每一像點對應于一特定波長。

　　5、探測器陣列：放置于焦平面，用于測量各波長像點的光強度。該探測器陣列可以是ccd陣列或其它種類的光探測器陣列。