ICP-AES法是20世紀60年代提出、70年代迅速發展起來的一種新型分析技術。在分析上的應用領域雖然十分廣泛，但是還存在著以下缺點，ICP光譜儀小編為您介紹：

　　(1)對于固體樣品一般需預先轉化為溶液，而這二過程往往使檢出限變高。

　　(2)作氣體氬氣消耗量大導致儀器運行成本增加。

　　(3)進樣系統霧化效率不高導致部分元素在痕量時無法檢出。

　　(4)ICP光譜儀發射光譜法只能測定樣品中元素的總量，不能對元素進行價態分析，除非和其他分析儀器聯用。

　　(5)RF發生器電路較復雜，容易產生故障導致儀器停機，并且儀器價格比較高、對實驗室要求也高、需要單獨的電源和接地以及排風系統，所以前期投入比較大。