ICP光譜儀校正的目的是消除環境溫度造成的光學系統漂移與機械震動造成的機械位移。通常，在儀器安裝調試過程中首先要進行光學系統校正；在儀器正常使用過程中根據環境溫度的條件適當進行光學系統校正。 在PRODIGY儀器中，由于儀器本身有恒溫系統，操作人員只要控制儀器達到恒溫條件，即可正常進行分析測量，無須頻繁校正光學系統。

　　一、 光學系統校正

　　在PROFILE儀器中，操作軟件自動控制儀器每30分鐘快速校正、每2小時完全校正光學系統。如果實驗室環境溫度變化較大，不能保證工作條件，可能造成測量結果數據漂移。

　　光學系統校正使用汞燈，選擇Hg8線（波長253.652nm），儀器內部裝有汞燈，只要按照操作規程操作即可。

　　二、 等離子體位置校正

　　等離子體位置校正的目的是將光源對準光學系統。通常在重新裝配進樣系統后，點燃等離子體，用Mn溶液（10ug/mL）校正。

　　在等離子體位置校正過程中，值得注意的是：確保選中Mn 257.610波長、Mn溶液能夠正常進入霧化器并形成氣溶膠進入等離子體。如果上述條件沒有滿足，可能造成校正失敗。

　　三、 波長校正

　　在使用任何一個元素、任何一個波長進行分析測量之前，都要做波長校正。波長校正的目的是：對事先存儲在譜線庫中的理論波長坐標位置進行修正、保證實際使用的波長坐標位置準確。

　　儀器安裝調試以后，波長校正不需要經常做。如果實驗室溫度變化較大，應適當進行波長校正。